测密郎热式气体质量流量计气体控制器
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LF485-B 中量程气体质量流量控制器/流量计是一款高精度、快速响应、高稳定性产品,本产品为热式气体质量流量流量控制器/ 流量计,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,从而测得气体的质量流量。其流量精度不受气体压力、环境温度影响,由于上下游温差总是实时反映气体瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
本产品可以测量和控制绝大多数干燥、干净的气体,可以应用在量程范围从30Ln/min 到300Ln/min 之间气体流量的测量和控制。
技术指标:
满量程范围(N2):30...300Ln/min
量程比:控制器50:1 流量计:100:1
精度:±1.0%F.S
线性:±0.5%F.S
重复性:±0.2%F.S
阀门类型:常闭阀
响应时间:≤1S
工作压差:0.1...0.5MPa
耐压MAX:3MPa
工作环境温度:5...45℃
泄露率:1 ×10 -8 Pa.m 3 /s
数字信号:RS232/RS485 MODBUS 协议
供电方式:24VDC (250mA) )
密封材料:丁晴橡胶 氟橡胶
接头尺寸:8mm 10mm 12mm 1/2” 3/4”其他
技术指标
产品应用:
真空镀膜设备
半导体工艺设备
化学与化工实验设备
食品科学与工程设备
能源与环境?;ど璞?/span>
各种分析仪器设备
表面处理
真空冶金及材料工艺
高校及科研院所实验室设备