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泰斯迈
主营产品: 半导体设备
祺祲祻祵祴祲祴祻祲祵祴
刻蚀机NE-550EX
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订货量(台)
¥1000000.00
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祺祲祻祵祴祲祴祻祲祵祴
发货地 山东省青岛市
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商品参数
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商品介绍
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联系方式
品牌 爱发科
刻蚀机2 NE-550EX
刻蚀机 NE-550EX
刻蚀机24 NE-550EX
刻蚀机4 NE-550EX
刻蚀机3 NE-550EX
商品介绍
特长
·通过磁场辅助,可以产生比其他ICP方式低压力、低电子温度、高密度等离子体,从离子性蚀刻到自由基性蚀刻,可以进行宽范围的等离子体控制,因此可以对应于作为开发tool的多用过程。
·搭载了防止RF投入窗的沉积物附着的“Star电极”。另外,具有加热功能,重视再现性和稳定性的装置概念。
·实现作为高可靠性输送机器人、装置构造简单、维护简单等研究开发Tool的可靠性。
·还可以追加丰富的可选功能和暗盒室。
·面向批量生产线,推出了由同一个Chamber构成的支持多个Chamber的NE-5700、NE-7700。
用途
·化合物材料(LED、LD、高频器件和功率器件)。
·电极加工、金属布线、有机膜、陶瓷等加工。
·用于加工铁电体、贵金属、磁性膜等难蚀刻材料。
·纳米压印、NEMS、MEMS、各种传感器。
·生物芯片、微流体装置、光子晶体等。
联系方式
公司名称 泰斯迈
手机 祺祲祻祵祴祲祴祻祲祵祴
地址 山东省青岛市